Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов...
Provedena klassifikatsija protsessov i oborudovanija khimicheskogo osazhdenija iz gazovoj fazy (KHOGF), ispolzuemykh v tekhnologii proizvodstva integralnykh mikroskhem (IMS), i pokazany tendentsii ikh razvitija. Privedeny osnovnye kharakteristiki elementov...
