Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Rassmotreny osnovnye polozhenija fiziki tvjordogo tela i fizicheskoj khimii poluprovodnikov. Osnovnoe vnimanie udeleno tekhnologii, sootvetstvujuschemu oborudovaniju i osnastke, ispolzuemym dlja poluchenija tekhnologicheskogo sloja. Privodjatsja konkretnye primery reshenija obratnykh zadach po opredeleniju tekhnologicheskikh rezhimov poluchenija slojov s zadannymi parametrami. Osvescheny reglamentnye raboty v promyshlennom proizvodstve. Rassmotreny osnovnye ekologicheskie problemy v promyshlennykh tekhnologijakh. Dlja studentov, obuchajuschikhsja po spetsialnosti 11.00.00 "Elektronika, radiotekhnika i sistemy svjazi", a takzhe inzhenerov, zanjatykh proektirovaniem i obsluzhivaniem elektronnykh priborov.
