Рассмотрено формирование тонкопленочной элементной базы микросборок, позволяющее создавать микроэлектронную аппаратуру с широким диапазоном функциональных возможностей и высокими точностными характеристиками; изложены принципы проектирования тонкопленочных элементов микросборок (МСБ): проводящих структур, резистивных элементов, тонкопленочных реактивных элементов (конденсаторов и индуктивностей); описаны основные технологические процессы формирования элементов плат МСБ и особенности технологических маршрутов изготовления плат с тонкопленочными элементами, вопросы контроля и обеспечения качества изготовленных элементов. Представленные в книге материалы, обобщающие результаты многолетних исследований, проведенных в рамках выполнения научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ в ФГУП "ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е.Седакова", а также исследований отечественных и зарубежных авторов, опубликованных в периодической литературе, могут оказаться полезными в качестве справочного...
Rassmotreno formirovanie tonkoplenochnoj elementnoj bazy mikrosborok, pozvoljajuschee sozdavat mikroelektronnuju apparaturu s shirokim diapazonom funktsionalnykh vozmozhnostej i vysokimi tochnostnymi kharakteristikami; izlozheny printsipy proektirovanija tonkoplenochnykh elementov mikrosborok (MSB): provodjaschikh struktur, rezistivnykh elementov, tonkoplenochnykh reaktivnykh elementov (kondensatorov i induktivnostej); opisany osnovnye tekhnologicheskie protsessy formirovanija elementov plat MSB i osobennosti tekhnologicheskikh marshrutov izgotovlenija plat s tonkoplenochnymi elementami, voprosy kontrolja i obespechenija kachestva izgotovlennykh elementov. Predstavlennye v knige materialy, obobschajuschie rezultaty mnogoletnikh issledovanij, provedennykh v ramkakh vypolnenija nauchno-issledovatelskikh i opytno-konstruktorskikh rabot v FGUP "FNPTs NIIIS im. Ju.E.Sedakova", a takzhe issledovanij otechestvennykh i zarubezhnykh avtorov, opublikovannykh v periodicheskoj literature, mogut okazatsja poleznymi v kachestve spravochnogo...
