1. Books
  2. Technical Literature
  3. Elektrokhimicheskie protsessy v tekhnologii mikro- i nanoelektroniki. Uchebnoe posobie

Elektrokhimicheskie protsessy v tekhnologii mikro- i nanoelektroniki. Uchebnoe posobie

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие
Elektrokhimicheskie protsessy v tekhnologii mikro- i nanoelektroniki. Uchebnoe posobie
Language
Measurements
205/130 mm
Publisher
Publication year
Format
Pages
258
ISBN
978-5-9916-4292-7
 
Sold out (not kept in inventory any longer)
Notify when available Add to favourites
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Для студентов, обучающихся по инженерно-техническим направлениям и специальностям, а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
Izlozheny osnovy elektrokhimicheskikh protsessov, primenjaemykh v tekhnologii mikro- i nanostruktur, kotorye intensivno razvivajutsja v poslednee vremja. Uchebnoe posobie soderzhit kratkie svedenija o zakonakh i polozhenijakh teorii elektrodnogo ravnovesija i elektrokhimicheskoj kinetiki, opisanie mekhanizmov formirovanija tverdotelnykh mikro- i nanostruktur, svedenija ob osobennostjakh poluchenija i primenenija poristogo kremnija, opisanie elektrokhimicheskikh protsessov v tekhnologii MEMS, protsessov formirovanija barernykh i poristykh anodnykh oksidov i ikh primenenija v mikro- i nanotekhnologii, protsessov anodnogo okislenija s pomoschju skanirujuschego zondovogo mikroskopa, katodnogo osazhdenija metallov i poluprovodnikov, ikh primenenija v tekhnologii UBIS, MEMS i nanotekhnologii. Dlja studentov, obuchajuschikhsja po inzhenerno-tekhnicheskim napravlenijam i spetsialnostjam, a takzhe dlja aspirantov, nauchnykh rabotnikov i inzhenerov.
EAN
9785991642927
BIC category:
TB
More like this
  • Belov Aleksandr Ivanovich
    Publication year: 2021
    29.00 €
    26.36 € w/o VAT
  • Gavrilov Stepan
    Publication year: 2021
    Paperback
    20.00 €
    18.18 € w/o VAT
  • Belov Aleksandr Ivanovich
    Publication year: 2021
    Paperback
    20.00 €
    18.18 € w/o VAT
  • Belov Aleksandr Ivanovich
    Publication year: 2020
    39.00 €
    35.45 € w/o VAT
  • Belov Aleksandr Ivanovich
    Publication year: 2020
    Paperback
    18.00 €
    16.36 € w/o VAT
  • Belov Aleksandr Ivanovich
    Publication year: 2020
    Paperback
    20.00 €
    18.18 € w/o VAT
  • Belov Aleksandr Ivanovich
    Publication year: 2019
    Paperback
    18.00 €
    16.36 € w/o VAT
  • Belov Aleksandr Ivanovich
    Publication year: 2018
    Paperback
    13.00 €
    11.82 € w/o VAT
  • Akopjan V. B.
    Publication year: 2020
    Hardcover
    29.00 €
    26.36 € w/o VAT
  • S. V. Emelin
    Publication year: 2020
    Hardcover
    23.00 €
    20.91 € w/o VAT