Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника". Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе "высокая чистота материала - высокое качество продукции". Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники. Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу "Технология материалов электронной техники". Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.
Uchebnoe posobie razrabotano v sootvetstvii s gosudarstvennym obrazovatelnym standartom vysshego professionalnogo obrazovanija po napravleniju podgotovki diplomirovannykh spetsialistov 11.04.04 "Elektronika i nanoelektronika". Vpervye tekhnologii mikro- i nanoelektroniki rassmotreny nerazryvno s tekhnologijami vysokochistykh veschestv i materialov v osnovopolagajuschem kljuche "vysokaja chistota materiala - vysokoe kachestvo produktsii". Rassmotreny osnovnye protsessy poluchenija vysokochistykh veschestv i materialov na ikh osnove, protsessy i tekhnologii poluchenija epitaksialnykh struktur kremnija, arsenida gallija i dr., tekhnologii ikh obrabotki pri perekhode k komponentam elektronnoj tekhniki. Posobie mozhet byt ispolzovano studentami vsekh form obuchenija, v tom chisle i po smezhnym spetsialnostjam, kak dlja samostojatelnoj raboty, tak i vypolnenija kursovykh proektov, a takzhe v kachestve konspekta lektsij po kursu "Tekhnologija materialov elektronnoj tekhniki". Soderzhit perechen kontrolnykh voprosov dlja otsenki usvoenija studentami materiala.
