В книге изложены основные физические явления и закономерности, лежащие в основе технологических методов и процессов, используемых в производстве современных электронных приборов и интегральных микросхем. Изложение материала построено так, чтобы дать...
V knige izlozheny osnovnye fizicheskie javlenija i zakonomernosti, lezhaschie v osnove tekhnologicheskikh metodov i protsessov, ispolzuemykh v proizvodstve sovremennykh elektronnykh priborov i integralnykh mikroskhem. Izlozhenie materiala postroeno tak, chtoby dat...
