Khimicheskie tekhnologii v proizvodstve mikroelektromekhanicheskikh sistem. Uchebnoe posobie dlja vuzov

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов

• Tekijä(t): Rodionov Ju. A.
• Kieli: Venäjä
• Kustantaja: Lan, Planeta muzyki
• Ilmestymisvuosi: 2021
• Sidosasu: Kova kansi
• Sivumäärä: 220
• ISBN: 978-5-8114-5788-5

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры "Электроника и наноэлектроника", "Конструирование и технология электронных средств".