В книге изложены современное состояние, возможности и перспективы использования алмаза в различных областях электроники, оптики и техники. Представлено обобщение опыта существующих и перспективных технических решений по созданию алмазных полупроводниковых пленок, технологии выращивания высококачественных, высокочистых алмазных монокристаллических пленок, их легирования и получения наноструктур. Описаны электрофизические и фотоэлектрические свойства таких структур.В связи с тем, что основное внимание уделено получению алмазных полупроводниковых пленок методом химического осаждения из газовой фазы (CVD-метод), приведены сведения об основных типах СВЧ реакторов и об организациях (научных группах), работающих на переднем крае технологии и исследований CVD-алмаза. Отмечается уникальность свойств алмаза но сравнению с другими полупроводниковыми материалами для разработки и создания перспективных электронных приборов. Обсуждается основная проблема внедрения алмаза в современные электронику и оптику - отсутствие монокристаллического алмаза в виде пластин большого размера, пригодных для технологии фотолитографии, а также пути ее решения. Книга предназначена для ученых, технологов и инженеров, работающих над созданием оптоэлектронных приборов и устройств полупроводниковой электроники на основе алмаза.Может быть полезна преподавателям, аспирантам и студентам технических вузов, исследователям, инженерам и разработчикам.
V knige izlozheny sovremennoe sostojanie, vozmozhnosti i perspektivy ispolzovanija almaza v razlichnykh oblastjakh elektroniki, optiki i tekhniki. Predstavleno obobschenie opyta suschestvujuschikh i perspektivnykh tekhnicheskikh reshenij po sozdaniju almaznykh poluprovodnikovykh plenok, tekhnologii vyraschivanija vysokokachestvennykh, vysokochistykh almaznykh monokristallicheskikh plenok, ikh legirovanija i poluchenija nanostruktur. Opisany elektrofizicheskie i fotoelektricheskie svojstva takikh struktur.V svjazi s tem, chto osnovnoe vnimanie udeleno polucheniju almaznykh poluprovodnikovykh plenok metodom khimicheskogo osazhdenija iz gazovoj fazy (CVD-metod), privedeny svedenija ob osnovnykh tipakh SVCh reaktorov i ob organizatsijakh (nauchnykh gruppakh), rabotajuschikh na perednem krae tekhnologii i issledovanij CVD-almaza. Otmechaetsja unikalnost svojstv almaza no sravneniju s drugimi poluprovodnikovymi materialami dlja razrabotki i sozdanija perspektivnykh elektronnykh priborov. Obsuzhdaetsja osnovnaja problema vnedrenija almaza v sovremennye elektroniku i optiku - otsutstvie monokristallicheskogo almaza v vide plastin bolshogo razmera, prigodnykh dlja tekhnologii fotolitografii, a takzhe puti ee reshenija. Kniga prednaznachena dlja uchenykh, tekhnologov i inzhenerov, rabotajuschikh nad sozdaniem optoelektronnykh priborov i ustrojstv poluprovodnikovoj elektroniki na osnove almaza.Mozhet byt polezna prepodavateljam, aspirantam i studentam tekhnicheskikh vuzov, issledovateljam, inzheneram i razrabotchikam.
