Tekhnologii mikroelektroniki

Технологии микроэлектроники

• Språk: Ryska
• Mätningar: 215/145/10 mm
• Förlag: Tekhnosfera
• Publiceringsår: 2005
• Bandtyp: Inbunden, hårda pärmar
• Sidor: 192
• ISBN: 978-5-94836-039-3

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов...