В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) - электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.
V knige rassmatrivajutsja tekhnologicheskie protsessy v proizvodstve elementov i ustrojstv radioelektronnoj apparatury (REA) - elektronnykh proborov, poluprovodnikovykh i gibridnykh mikroskhem, mikroelektromekhanicheskikh sistem, antennykh ustrojstv, funktsionalnykh i zaschitnykh pokrytij i drugikh, gde v kachestve osnovnogo instrumenta ispolzujutsja ionno-plazmennye potoki i puchki uskorennykh ionov. Rassmotreno tekhnologicheskoe oborudovanie i osnastka, vkljuchaja generirovanie, uskorenie i upravlenie potokami ionov.
