Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.
Uchebnoe posobie posvjascheno rassmotreniju voprosov avtomatizatsii tekhnologicheskikh protsessov proizvodstva izdelij mikroelektroniki. Avtory sochli tselesoobraznym otrazit takie voprosy, kak osnovnye tekhnologicheskie protsessy obrabatyvajuschej fazy proizvodstva izdelij mikroelektroniki dlja poluchenija integralnykh struktur, sistem avtomatizatsii tekhprotsessov, tekhnicheskikh sredstv avtomatizatsii i upravlenija, kontrollerov i programmno-tekhnicheskikh kompleksov otechestvennykh i zarubezhnykh proizvoditelej, ispolzuemykh v sistemakh upravlenija tekhprotsessami, sistem dispetcherskogo upravlenija i sbora dannykh.
