Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено...
Nastojaschaja kniga predstavljaet soboj podrobnoe spravochnoe rukovodstvo po osnovnym vakuumnym plazmokhimicheskim protsessam v tonkoplenochnoj tekhnologii - reaktivnomu magnetronnomu naneseniju tonkikh plenok i ionno-plazmennomu travleniju. V nej obobscheno...
