В учебнике изложены основные направления развития микроэлектроники: рассмотрены физические основы, конструкция, технология, структурные элементы и аспекты проектирования интегральных микросхем (ИМС) и больших интегральных схем (БИС). Рассмотрены отдельные технологические процессы, схемотехнические решения, машинные методы проектирования и изготовления изделий микроэлектроники. Учебник предназначен для студентов технических вузов и университетов, изучающих микроэлектронику.
V uchebnike izlozheny osnovnye napravlenija razvitija mikroelektroniki: rassmotreny fizicheskie osnovy, konstruktsija, tekhnologija, strukturnye elementy i aspekty proektirovanija integralnykh mikroskhem (IMS) i bolshikh integralnykh skhem (BIS). Rassmotreny otdelnye tekhnologicheskie protsessy, skhemotekhnicheskie reshenija, mashinnye metody proektirovanija i izgotovlenija izdelij mikroelektroniki. Uchebnik prednaznachen dlja studentov tekhnicheskikh vuzov i universitetov, izuchajuschikh mikroelektroniku.
