Пособие посвящено экспериментальным особенностям и теоретическим вопросам анализа свойств поверхности твердых тел и тонких пленок. Рассмотрены механизмы физических явлений, лежащих в основе эмиссионных процессов, при возбуждении поверхности электронными и ионными пучками, температурой и электростатическими полями большой напряженности. Описаны принципы функционирования узлов высоковакуумных аналитических установок (оптика заряженных частиц, энергоанализаторы, масс-анализаторы, электронные и ионные пушки, детекторы частиц и излучений).
Posobie posvjascheno eksperimentalnym osobennostjam i teoreticheskim voprosam analiza svojstv poverkhnosti tverdykh tel i tonkikh plenok. Rassmotreny mekhanizmy fizicheskikh javlenij, lezhaschikh v osnove emissionnykh protsessov, pri vozbuzhdenii poverkhnosti elektronnymi i ionnymi puchkami, temperaturoj i elektrostaticheskimi poljami bolshoj naprjazhennosti. Opisany printsipy funktsionirovanija uzlov vysokovakuumnykh analiticheskikh ustanovok (optika zarjazhennykh chastits, energoanalizatory, mass-analizatory, elektronnye i ionnye pushki, detektory chastits i izluchenij).
