В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс "Современные технологии микро- и наноэлектроники", а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.
V uchebnom posobii raskryvaetsja tekhnologicheskij aspekt sensoriki i privodjatsja svedenija o bolshom mnogoobrazii sensorov. Otmechaetsja vazhnost nanotekhnologicheskogo podkhoda k izgotovleniju sensorov. Predstavlena informatsija o materialakh khimicheskikh sensorov, ikh svojstvakh i printsipakh konstruirovanija. Osobo vydelen tekhnologicheskij aktsent poluchenija slozhnooksidnykh sensorov, kotorye rabotajut na razlichnykh printsipakh. Privedeny primery priborov, vypuskaemykh v nastojaschee vremja v promyshlennom masshtabe. Opisany nekotorye tekhnologii izgotovlenija effektivnykh nanorazmernykh sensornykh materialov, v tom chisle avtorskij metod prigotovlenija oksidnykh (rezistivnykh, pezoelektricheskikh, magnitnykh) sensornykh materialov. Privedeny dannye, poluchennye avtorom po tekhnologii izgotovlenija sensornykh materialov. Prednaznacheno dlja studentov i aspirantov, izuchajuschikh kurs "Sovremennye tekhnologii mikro- i nanoelektroniki", a takzhe inzhenerov, spetsialistov i uchenykh, rabotajuschikh v oblasti tekhnologii sensorov.
