Вакуумная ионно-плазменная обработка. Учебное пособие

• Автор(ы): Плихунов В. В., Петров Л., Ильин Андрей, Спектор В. С.
• Язык: Русский
• Размер: 215/145 mm
• Издатель: Альфа-М
• Год выхода: 2016
• Оформление: Мягкая обложка
• Количество страниц: 160
• ISBN: 978-5-98281-366-4

Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы, равномерность их распределения в рабочем объеме камер вакуумных установок, а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств модифицированных поверхностных слоев, однослойных, многослойных, градиентных нано-структурных покрытий при вакуумной ионно-плазменной обработке. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров "Материаловедение и технологии материалов".