Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры - технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", "Конструирование и технология радиоэлектронных средств" и "Микроэлектроника", может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Kniga posvjaschena rassmotreniju shirokogo kruga fizicheskikh printsipov, opredeljajuschikh tekhnologicheskie protsessy izgotovlenija integralnykh skhem radioelektronnoj apparatury - tekhnologii poluchenija kremnievykh plastin, ikh oksidirovanija, diffuzii, ionnogo legirovanija, litografii, sukhogo travlenija, sborki i germetizatsii gotovykh mikropriborov. Takzhe rassmotreny protsessy formirovanija tonkikh plenok razlichnymi tekhnologicheskimi metodami. Privedeny osnovnye skhemy tekhnologicheskogo oborudovanija i osnastki.Uchebnik prednaznachen dlja studentov vuzov, obuchajuschikhsja po spetsialnostjam "Proektirovanie i tekhnologija elektronnykh ustrojstv", "Proektirovanie i tekhnologija radioelektronnykh sredstv", "Konstruirovanie i tekhnologija radioelektronnykh sredstv" i "Mikroelektronika", mozhet byt poleznym dlja studentov drugikh spetsialnostej i spetsialistov v oblasti radiotekhniki.
