Приведены материалы для освоения методов оценки точности прецизионных механизмов микро- и наноперемещений в режиме позиционирования, а также методов тестирования активных демпферов для компенсации возмущающих вибрационных воздействий на исследовательское и технологическое оборудование. Особое внимание уделено исследованию перспективных приводов на основе магнито- и электрореологических жидкостей и демпферов на базе магнитореологических эластомеров. В целях более глубокого изучения процессов позиционирования в микро- и нанодиапазоне, закрепления навыков экспериментальной работы и статистической обработки результатов предложены вопросы для самоконтроля. Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана, обучающихся по специальностям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Privedeny materialy dlja osvoenija metodov otsenki tochnosti pretsizionnykh mekhanizmov mikro- i nanoperemeschenij v rezhime pozitsionirovanija, a takzhe metodov testirovanija aktivnykh dempferov dlja kompensatsii vozmuschajuschikh vibratsionnykh vozdejstvij na issledovatelskoe i tekhnologicheskoe oborudovanie. Osoboe vnimanie udeleno issledovaniju perspektivnykh privodov na osnove magnito- i elektroreologicheskikh zhidkostej i dempferov na baze magnitoreologicheskikh elastomerov. V tseljakh bolee glubokogo izuchenija protsessov pozitsionirovanija v mikro- i nanodiapazone, zakreplenija navykov eksperimentalnoj raboty i statisticheskoj obrabotki rezultatov predlozheny voprosy dlja samokontrolja. Dlja studentov MGTU im. N.E.Baumana, obuchajuschikhsja po spetsialnostjam "Elektronika i nanoelektronika" i "Nanoinzhenerija".
