Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ имени Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Dano opisanie obschej posledovatelnosti protsessov mikrotekhnologii na primerakh proizvodstva integralnykh mikroskhem i kremnievogo mikrodatchika davlenija. Rassmotreny osnovnye etapy poluchenija kremnievykh monokristallicheskikh plastin, kljuchevye operatsii mikrotekhnologii - izgotovlenie kremnievykh plastin, oksidirovanie. Aktsentirovano vnimanie na vzaimosvjazi mezhdu svojstvami materialov, struktury, ustrojstvom i elektricheskimi kharakteristikami mikrostruktur. Rassmotreny fiziko-khimicheskie modeli i metody analiza kachestva tekhnologicheskikh protsessov mikrotekhnologii. Dlja studentov MGTU imeni N.E. Baumana, obuchajuschikhsja po napravlenijam "Elektronika i nanoelektronika" i "Nanoinzhenerija".
