Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические...
Kniga predstavljaet soboj podrobnoe spravochnoe rukovodstvo po fizicheskim osnovam, tekhnologicheskim osobennostjam i prakticheskomu primeneniju protsessa reaktivnogo magnetronnogo nanesenija tonkikh plenok slozhnogo sostava, predstavljajuschikh soboj khimicheskie...
