В учебнике изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы...
V uchebnike izlozheny sovremennye predstavlenija o fiziko-khimicheskikh osnovakh tekhnologicheskikh protsessov elektroniki, osobennosti termodinamiki khimicheskikh i fazovykh ravnovesij, kineticheskie kharakteristiki protsessov. Rassmotreny protsessy...
