Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.
Kniga posvjaschena nauchno-tekhnologicheskim osnovam elektrokhimicheskikh protsessov, primenjaemykh v tekhnologii mikro- i nanostruktur, kotorye intensivno razvivajutsja v poslednee vremja. V posobii privedeny kratkie svedenija o zakonakh i polozhenijakh teorii elektrodnogo ravnovesija i elektrokhimicheskoj kinetiki, rassmotreny mekhanizmy formirovanija tverdotelnykh mikro- i nanostruktur, osobennosti poluchenija i primenenija poristogo kremnija, opisany elektrokhimicheskie protsessy v tekhnologii MEMS, protsessy formirovanija barernykh i poristykh anodnykh oksidov i ikh primenenie v mikro- i nanotekhnologii, protsessy anodnogo okislenija s pomoschju skanirujuschego zondovogo mikroskopa, katodnogo osazhdenija metallov i poluprovodnikov, ikh primenenie v tekhnologii UBIS, MEMS i nanotekhnologii. Prednaznacheno dlja studentov, aspirantov, nauchnykh rabotnikov i inzhenerov.
