"В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нано-литографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки.Для научных работников и инженеров
"V knige predstavleny rezultaty mezhdistsiplinarnykh fundamentalnykh, poiskovykh i prikladnykh nauchnykh issledovanij po razrabotke tekhnologij poluchenija novykh nanomaterialov i elementnoj bazy elektronnykh ustrojstv novykh pokolenij informatsionno-telekommunikatsionnykh sistem. Rassmotreny vozmozhnosti prakticheskogo primenenija metodov proektirovanija i izgotovlenija sverkhbystrodejstvujuschikh integralnykh elementov SBIS i UBIS, mnogoosevykh mikromekhanicheskikh sensorov uglovykh skorostej i linejnykh uskorenij, ustrojstv nanopezotroniki, mikroelektronnoj sensoriki, nejromorfnykh sistem i vakuumnoj mikroelektroniki na osnove ispolzovanija perspektivnykh metodov nanotekhnologii: molekuljarno-luchevoj epitaksii, impulsnogo lazernogo osazhdenija, plazmokhimicheskogo osazhdenija iz gazovoj fazy, skanirujuschej zondovoj mikroskopii i zondovoj nano-litografii, fokusirovannykh ionnykh puchkov, elektronno-luchevoj obrabotki, a takzhe perspektivnykh metodov planarnoj tekhnologii poverkhnostnoj obrabotki.Dlja nauchnykh rabotnikov i inzhenerov
