В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических...
V svete sovremennogo razvitija nanotekhnologii i mikromekhaniki rassmotreny protsessy i sistemy vakuumno-plazmennogo travlenija, nakhodjaschie shirokoe primenenie v proizvodstve sovremennykh ultrabolshikh integralnykh skhem, izdelii mikroelektromekhanicheskikh...