В книге представлено обобщение накопленного опыта по созданию методов входного и технологического контроля при разработке и производстве СВЧ транзисторов на основе широкозонных материалов, в частности, транзисторов на гетероструктурах типа AIGaN/GaN. Рассмотрены системы отечественных и зарубежных стандартов, на основе которых проводятся разработки СВЧ транзисторов. Подробно описаны физические основы гетероструктур, описаны свойства широкозонных полупроводников, методы изготовления СВЧ транзисторов. Детально анализируется технология производства транзисторов с учетом имеющегося опыта их реального изготовления. Рассмотрены электрические, оптические, рентгеновские, электронно-микроскопические и аналитические методы, которые применяются при входном и технологическом методах контроля. Рассмотрен опыт создания в ОАО "НПП "Пульсар" СВЧ транзисторов и СВЧ блоков на их основе. Книга будет полезна специалистам в области электроники, исследователям, инженерам-практикам и...
V knige predstavleno obobschenie nakoplennogo opyta po sozdaniju metodov vkhodnogo i tekhnologicheskogo kontrolja pri razrabotke i proizvodstve SVCh tranzistorov na osnove shirokozonnykh materialov, v chastnosti, tranzistorov na geterostrukturakh tipa AIGaN/GaN. Rassmotreny sistemy otechestvennykh i zarubezhnykh standartov, na osnove kotorykh provodjatsja razrabotki SVCh tranzistorov. Podrobno opisany fizicheskie osnovy geterostruktur, opisany svojstva shirokozonnykh poluprovodnikov, metody izgotovlenija SVCh tranzistorov. Detalno analiziruetsja tekhnologija proizvodstva tranzistorov s uchetom imejuschegosja opyta ikh realnogo izgotovlenija. Rassmotreny elektricheskie, opticheskie, rentgenovskie, elektronno-mikroskopicheskie i analiticheskie metody, kotorye primenjajutsja pri vkhodnom i tekhnologicheskom metodakh kontrolja. Rassmotren opyt sozdanija v OAO "NPP "Pulsar" SVCh tranzistorov i SVCh blokov na ikh osnove. Kniga budet polezna spetsialistam v oblasti elektroniki, issledovateljam, inzheneram-praktikam i...
