Содержит основные сведения по метрологическому обеспечению наноиндустрии. Рассмотрены становление нанометрологии в XX-XXI вв. и концепции ее развития. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям - поверке и калибровке. Материал по сканирующей зондовой микроскопии изложен на основе семи современных стандартов, введенных в 2008-2009 гг. Описаны организационные принципы нанометрологии, системы Гостехрегулирования через сеть региональных отделений вновь созданного Центра метрологического обеспечения нанотехнологий и отраслевых научно-исследовательских институтов. Приведен перечень вузов, работающих в сфере наноиндустрии, и указаны основные направления их исследований в данной области. Для ученых, инженеров и других специалистов, разрабатывающих проблемы нанометрологии. Может использоваться в учебном процессе...
Soderzhit osnovnye svedenija po metrologicheskomu obespecheniju nanoindustrii. Rassmotreny stanovlenie nanometrologii v XX-XXI vv. i kontseptsii ee razvitija. Podrobno izlozheny sovremennye osnovy tekhnicheskogo obespechenija nanometrologii. Osvescheny voprosy nestabilnosti, tochnosti i neopredelennosti nanoizmerenij. Osoboe vnimanie udeleno osnovnym metrologicheskim operatsijam - poverke i kalibrovke. Material po skanirujuschej zondovoj mikroskopii izlozhen na osnove semi sovremennykh standartov, vvedennykh v 2008-2009 gg. Opisany organizatsionnye printsipy nanometrologii, sistemy Gostekhregulirovanija cherez set regionalnykh otdelenij vnov sozdannogo Tsentra metrologicheskogo obespechenija nanotekhnologij i otraslevykh nauchno-issledovatelskikh institutov. Priveden perechen vuzov, rabotajuschikh v sfere nanoindustrii, i ukazany osnovnye napravlenija ikh issledovanij v dannoj oblasti. Dlja uchenykh, inzhenerov i drugikh spetsialistov, razrabatyvajuschikh problemy nanometrologii. Mozhet ispolzovatsja v uchebnom protsesse...
