В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники - вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделение и др. Учебный материал соответствует курсу "Теория механизмов и машин", он четко систематизирован, дан в доступной для понимания форме. Текст содержит чертежи, информативные схемы, таблицы и графики. Главным плюсом учебника является наличие большого количества методологически эффективных практических примеров с разбором решений.
V uchebnike rassmotreny obschie i spetsialnye voprosy proektirovanija elementov i ustrojstv tekhnologicheskikh sistem elektronnoj tekhniki - vakuumnykh sistem oborudovanija tonkoplenochnoj tekhnologii, vakuumnykh ustrojstv s beskontaktnym magnitnym vzaimodejstviem, magnitnykh i elektromagnitnykh sistem vakuumnogo tekhnologicheskogo oborudovanija, l-koordinatnykh ispolnitelnykh ustrojstv, ustrojstv na osnove volnovogo dvizhenija i vvodov dvizhenija v vakuum, opornykh uzlov, razlichnykh peredatochnykh mekhanizmov, tribosoprjazhenij s modifitsirujuschimi polimernymi pokrytijami, elektrostaticheskikh krepezhnykh ustrojstv, a takzhe voprosy rascheta funktsionalnykh sistem vakuumnogo oborudovanija na privnosimyj uroven zagrjaznenij, gazovydelenie i dr. Uchebnyj material sootvetstvuet kursu "Teorija mekhanizmov i mashin", on chetko sistematizirovan, dan v dostupnoj dlja ponimanija forme. Tekst soderzhit chertezhi, informativnye skhemy, tablitsy i grafiki. Glavnym pljusom uchebnika javljaetsja nalichie bolshogo kolichestva metodologicheski effektivnykh prakticheskikh primerov s razborom reshenij.
