Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры "Электроника и наноэлектроника", "Конструирование и технология электронных средств".
Rassmotreny osnovnye polozhenija obschej i fizicheskoj khimii v tekhnologicheskikh protsessakh integralnykh mikroskhem i mikro-elektromekhanicheskikh sistem. Osnovnoe vnimanie udeleno khimicheskim protsessam v serijnom proizvodstve mikro-nanoelementov, materialam i oborudovaniju, obespechivajuschego dannye protsessy. Privodjatsja konkretnye tekhnologicheskie protsessy khimicheskoj podgotovki i obrabotki tekhnologicheskikh slojov i ikh osobennosti v serijnom proizvodstve.Uchebnoe posobie prednaznacheno dlja studentov vysshikh uchebnykh zavedenij, obuchajuschikhsja po napravlenijam podgotovki bakalavriata i magistratury "Elektronika i nanoelektronika", "Konstruirovanie i tekhnologija elektronnykh sredstv".
