1. Books
  2. Technical Literature
  3. Tekhnologija, konstruktsii i metody modelirovanija kremnievykh integralnykh mikroskhem. V 2 chastjakh. Chast 2. Elementy i marshruty izgotovlenija kremnievykh IS i metody ikh matematicheskogo modelirovanija

Tekhnologija, konstruktsii i metody modelirovanija kremnievykh integralnykh mikroskhem. V 2 chastjakh. Chast 2. Elementy i marshruty izgotovlenija kremnievykh IS i metody ikh matematicheskogo modelirovanija

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования
Tekhnologija, konstruktsii i metody modelirovanija kremnievykh integralnykh mikroskhem. V 2 chastjakh. Chast 2. Elementy i marshruty izgotovlenija kremnievykh IS i metody ikh matematicheskogo modelirovanija
Language
Measurements
215/145 mm
Publisher
Publication year
Format
Pages
424
ISBN
978-5-94774-585-6
 
Sold out (not kept in inventory any longer)
Notify when available Add to favourites
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области
Dano predstavlenie ob osnovnykh marshrutakh izgotovlenija i konstruktsijakh izdelij mikroelektroniki na osnove kremnija. Rassmotreny osnovnye protsessy sozdanija integralnykh skhem: khimicheskaja i plazmokhimicheskaja obrabotka materiala; vvedenie primesej v kremnij; vyraschivanie okisla kremnija i ego okhlazhdenie; litografija; sozdanie metallicheskikh soedinenij i kontaktov. Privedeny metody modelirovanija protsessov raspredelenija primesej v poluprovodnikovykh strukturakh. Dlja studentov i aspirantov, spetsializirujuschikhsja v oblasti mikroelektroniki i poluprovodnikovykh priborov. Mozhet byt ispolzovano takzhe spetsialistami, rabotajuschimi v dannoj oblasti
Series
EAN
9785947745856
BIC category:
TB
More like this
  • Valerij Jatsenkov
    Publication year: 2020
    Paperback
    25.00 €
    22.73 € w/o VAT
  • Tom Igo
    Publication year: 2019
    Paperback
    48.00 €
    43.64 € w/o VAT
  • Petin V.
    Publication year: 2016
    Paperback
    20.00 €
    18.18 € w/o VAT
  • Ledeneva Irina Nikolaevna
    Publication year: 2021
    Hardcover
    84.00 €
    76.36 € w/o VAT
  • Lebedev Vladimir Mikhajlovich
    Publication year: 2022
    Hardcover
    92.00 €
    83.64 € w/o VAT
  • Zakharov M. S.
    Publication year: 2022
    Paperback
    40.00 €
    36.36 € w/o VAT
  • Popov I. P.
    Publication year: 2022
    Hardcover
    64.00 €
    58.18 € w/o VAT
  • Popov I. P.
    Publication year: 2021
    Hardcover
    58.00 €
    52.73 € w/o VAT
  • Zakharov M. S.
    Publication year: 2021
    Paperback
    41.00 €
    37.27 € w/o VAT
  • Zakharov M. S.
    Publication year: 2021
    Paperback
    32.00 €
    29.09 € w/o VAT